MEMS deformable mirror  微变形反射镜

MEMS MEMS  微机电系统

Deformable mirrors  变形镜; 变形反射镜

Deformable mirrors eigen modes  变形镜本征模

Micro Deformable Mirrors  微变形镜

3D-MEMS  土木工程部

Bio-MEMS  生物微机电系统

bio-MEMS device  生化MEMS器件

broadband RF-MEMS switches  表面机械研磨处理; 宽带RF-MEMS开关

Capacitive coupling RF MEMS switch  电容耦合并联式

capacitive MEMS shunt switch  MEMS电容式并联开关

capacitive RF MEMS switch  电容式RF MEMS开关

CMOS MEMS technology  CMOSMEMS技术

CMOS-MEMS bulk gyroscope  CMOS-MEMS体硅陀螺

deflection of MEMS-DMs  镜面变形

diffractive MEMS  衍射MEMS

electromagnetic MEMS  电磁MEMS; 电磁微机电系统

electrostatically actuated MEMS  MEMS静电驱动

High-g micro-electro-mechanical system(MEMS) accelerometer  高量程微机械加速度计